1、直線度測量原理
雙頻激光測頭輸出光經過直線度干涉鏡，按偏振態被分成兩束，以一定角度發散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進行干涉測量。
通過檢測光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導軌相對于激光光路參考線的直線度誤差。直線度可以在水平面或垂直面上進行，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡的布置，如下圖所示。
 
2、數據采集和處理
數據采集方法：使待測機床軸移動到若干個不同位置（或“目標”），然后測量直線度誤差?？梢詮囊粋€目標位置移動到下一個目標位置時，暫停幾秒，在此過程中進行測量。
3、直線度測量用組件
直線度測量用到的激光干涉儀組件：
激光干涉儀測頭、直線度光學鏡組、直線度測量附件、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
4、直線度測量應用
數控機床/坐標測量機主軸直線度誤差測量
機床/直線電機導軌直線度測量
機床工作臺直線度測量
動態直線度測量