1、垂直度測量原理
垂直度測量的主要采用同一個測量基準軸對兩個標稱正交坐標中的每一個軸測量直線度。對兩個直線度測量值進行比較，算出兩個軸之間的垂直度。
共同的參考基準是直線度反射鏡的光學基準軸。需要注意的是，兩次測量直線度之間既不移動也不調整。兩次直線度測量過程中至少一次用到光學直角尺，用于將激光光束調整到與待測軸垂直。實際測量方法可以參考下圖：
 
2、測量步驟和數據處理
測量分兩步：第一步測量其中一軸的直線度，其方法跟直線度測量一樣；第二步測量另一軸的直線度，同樣的方法；最后根據上述兩個直線度測量結果，計算得到兩軸之間的垂直度誤差。
3、垂直度測量用組件
垂直度測量用到的激光干涉儀組件：
激光干涉儀測頭、直線度光學鏡組、直線度測量附件、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
4、垂直度測量應用
數控機床/坐標測量機主軸垂直度誤差測量
機床X、Y軸垂直度對準
坐標機上垂直軸和水平軸之間的垂直度測量