1、平行度測量原理
平行度測量由兩組直線度測量組成，兩次測量都以直線度反射鏡的光學軸為參考基準。需要說明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個正交平面內沿每個要被比較的軸測量直線度。因此，平行度或平行線測量實際是四次直線度測量，每次的步驟和方法同測量直線度一樣，如下圖所示。

2、數據采集和處理
按照上面的分析，平行度測量分成正交平面內的兩次直線度測量，在同一個面內的測量分兩步：第一步測量其中一軸的直線度，其方法跟直線度測量一樣；第二步測量另一軸的直線度。每次測量后均把以共同反射鏡為參考基準所采集的直線度數據保存。最后根據上述四個直線度測量結果，計算得到兩軸之間的平行度或平行線誤差。
3、平行度測量用組件
平行度測量用到的激光干涉儀組件：
激光干涉儀測頭、測量附件、垂直度測量光學鏡組、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
4、垂直度測量應用
數控機床/坐標測量機Ｘ、Ｙ軸上多導軌平行度
兩導軌的平行度
回轉軸的平行度測量，確定旋轉軸線和直線軸之間的角度關系，對于車床尤為重要。